一种高稳定复合透明导电薄膜的制备方法及应用，属于光电子器件领域。本发明利用反应等离子体沉积(Reactive plasma deposition‑RPD)技术等生长低成本透明导电薄膜(如铝或镓掺杂ZnO薄膜，即AZO或GZO；或者Zn2SnO4薄膜等)，利用反应等离子体沉积或磁控溅射技术或电子束蒸发技术生长保护层(Protective layer，如SnOx，Al2O3，IMO(即Mo掺杂In2O3)等)，从而形成并获得复合透明导电薄膜Oxide/Protective layer。本发明中的低成本透明导电薄膜提供了良好的透光率和导电性，而保护层提高了湿热稳定性，此种复合薄膜可应用于光电器件(如太阳电池和发光二极管等)。