发明公开
- 专利标题: 一种喷气装置、马兰戈尼干燥机及干燥方法
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申请号: CN202410395784.6申请日: 2024-04-02
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公开(公告)号: CN118073245A公开(公告)日: 2024-05-24
- 发明人: 刘志鹏 , 马玉蓉 , 崔佳伟 , 施钦天 , 杨鑫 , 蒋渊
- 申请人: 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 , 江苏启微半导体设备有限公司
- 申请人地址: 上海市闵行区紫海路170号;
- 专利权人: 上海至纯洁净系统科技股份有限公司,江苏启微半导体设备有限公司
- 当前专利权人: 上海至纯洁净系统科技股份有限公司,江苏启微半导体设备有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区紫海路170号;
- 代理机构: 上海申新律师事务所
- 代理商 党蕾
- 主分类号: H01L21/67
- IPC分类号: H01L21/67 ; F26B5/00 ; F26B21/14
摘要:
本发明公开一种喷气装置、马兰戈尼干燥机及干燥方法,其中,喷气装置包括喷气管,喷气管包括内管及外管,外管套设于内管的外部,内管与外管设置于同一轴线上;于内管的外壁和外管的内壁之间设置有缓冲区;内管上设置有多个用于排气的第一喷气口;外管上设置有多个与第一喷气口匹配的第二喷气口;喷气管内的气体依次通过第一喷气口、缓冲区及第二喷气口后喷出。本发明通过双管路的设计形成缓冲区,以降低气体到达喷气口的流速差,从而平稳喷气口的气体流态,使得IPA气体均匀分布,形成厚度一致的IPA膜,达到更好的干燥效果。
IPC分类: