公开(公告)号：CN118073245A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202410395784.6

申请日：2024-04-02

申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 ,  江苏启微半导体设备有限公司

发明人： 刘志鹏 ,  马玉蓉 ,  崔佳伟 ,  施钦天 ,  杨鑫 ,  蒋渊

IPC分类号： H01L21/67 ,  F26B5/00 ,  F26B21/14

摘要： 本发明公开一种喷气装置、马兰戈尼干燥机及干燥方法，其中，喷气装置包括喷气管，喷气管包括内管及外管，外管套设于内管的外部，内管与外管设置于同一轴线上；于内管的外壁和外管的内壁之间设置有缓冲区；内管上设置有多个用于排气的第一喷气口；外管上设置有多个与第一喷气口匹配的第二喷气口；喷气管内的气体依次通过第一喷气口、缓冲区及第二喷气口后喷出。本发明通过双管路的设计形成缓冲区，以降低气体到达喷气口的流速差，从而平稳喷气口的气体流态，使得IPA气体均匀分布，形成厚度一致的IPA膜，达到更好的干燥效果。

公开(公告)号：CN118571828A

公开(公告)日：2024-08-30

申请号：CN202410450602.0

申请日：2024-04-15

申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 ,  至微半导体(上海)有限公司

发明人： 施钦天 ,  屠国强 ,  徐铭 ,  刘志鹏 ,  蒋渊

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/68 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

摘要： 本发明涉及晶圆传输技术领域，具体涉及一种降低晶圆传输污染的夹持和翻转设备及方法。设备包括，多个晶圆夹齿，设于左右对称的两块夹齿固定板的相对面上，包括用于夹持清洗前的晶圆的第一晶圆夹齿和用于夹持清洗后的晶圆的第二晶圆夹齿；夹持装置，连接夹齿固定板，用于驱动晶圆夹齿沿一旋转轴的轴线方向相互靠近或远离运动；翻转装置，连接夹齿固定板，用于驱动晶圆夹齿沿旋转轴旋转。本发明实现了清洗前的晶圆和清洗后的晶圆的分开夹持和翻转，避免清洗前的脏晶圆遗留在夹齿上的污染物对清洗后的干净晶圆产生影响。

公开(公告)号：CN118471891A

公开(公告)日：2024-08-09

申请号：CN202410403229.3

申请日：2024-04-03

申请人： 至微半导体(上海)有限公司 ,  上海至纯洁净系统科技股份有限公司

发明人： 施钦天 ,  陈蕖 ,  杨鑫 ,  徐铭 ,  刘大威

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/677

摘要： 本发明涉及晶圆传输技术领域，具体涉及一种分开取放晶圆的片叉单元结构、晶圆传输机构和方法。结构包括：固定框架，及固定在固定框架上的晶圆托齿机构和片叉；片叉上设置有位于第一水平高度的第一晶圆承托柱和位于第二水平高度的第二晶圆承托柱，晶圆托齿机构上设有可沿片叉方向往返运动的晶圆托齿，其中，晶圆托齿在初始位置，第一晶圆承托柱承载清洗前的晶圆；晶圆托齿前伸至承托位置，晶圆托齿与第二晶圆承托柱承载清洗后的晶圆。本发明在取放晶圆时，将清洗前的脏晶圆和清洗后的干净晶圆进行分开取放，能够避免脏晶圆对干净晶圆的影响，从而可以保证晶圆的清洗效果。

公开(公告)号：CN308691126S

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202330646998.2

申请日：2023-10-08

申请人： 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 ,  江苏启微半导体设备有限公司

设计人： 施钦天 ,  刘志鹏 ,  徐铭

摘要： 1.本外观设计产品的名称：设备前端模块(EFEM)。
2.本外观设计产品的用途：用于晶圆的自动上下料。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。