发明公开
- 专利标题: 双激励大气压射频等离子体发生器
-
申请号: CN202410494114.X申请日: 2024-04-24
-
公开(公告)号: CN118102568A公开(公告)日: 2024-05-28
- 发明人: 胡立群 , 靳兴月 , 李军 , 赵鹏 , 刘成周
- 申请人: 中国科学院合肥物质科学研究院
- 申请人地址: 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
- 专利权人: 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人: 中国科学院合肥物质科学研究院
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市蜀山区蜀山湖路350号
- 代理机构: 广州三环专利商标代理有限公司
- 代理商 刘志敏
- 主分类号: H05H1/24
- IPC分类号: H05H1/24
摘要:
本发明涉及低温等离子体发生器技术领域,公开了一种双激励大气压射频等离子体发生器,包括:射频电源、射频匹配器、感应线圈、金属顶盖、金属底座以及炬管组件;炬管组件包括外层管、中层管、内层管,感应线圈环设于外层管的部分外周壁上,将该部分外层管对应的内腔限定为放电腔室,感应线圈的两端分别通过射频匹配器与射频电源电连接;金属顶盖及金属底座上下间隔设置,炬管组件部位设于金属顶盖及金属底座之间以使放电腔室位于金属顶盖及金属底座之间,金属顶盖及金属底座分别通过射频匹配器与射频电源电连接。本发明能够解决现有大气压射频等离子体能量利用率低、寿命短、稳定性差等问题。
公开/授权文献
- CN118102568B 双激励大气压射频等离子体发生器 公开/授权日:2024-06-21
IPC分类: