双激励大气压射频等离子体发生器
摘要:
本发明涉及低温等离子体发生器技术领域,公开了一种双激励大气压射频等离子体发生器,包括:射频电源、射频匹配器、感应线圈、金属顶盖、金属底座以及炬管组件;炬管组件包括外层管、中层管、内层管,感应线圈环设于外层管的部分外周壁上,将该部分外层管对应的内腔限定为放电腔室,感应线圈的两端分别通过射频匹配器与射频电源电连接;金属顶盖及金属底座上下间隔设置,炬管组件部位设于金属顶盖及金属底座之间以使放电腔室位于金属顶盖及金属底座之间,金属顶盖及金属底座分别通过射频匹配器与射频电源电连接。本发明能够解决现有大气压射频等离子体能量利用率低、寿命短、稳定性差等问题。
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