一种可切换光路工作方式的干涉仪
Abstract:
本发明提出一种可切换光路工作方式的干涉仪,该装置包含宽谱光源模块,干涉与解调模块,传感探测模块和采集与控制模块,可通过切换干涉与解调模块中2×2光开关的相邻导通和对向导通,便捷地改变光路工作方式。通过更换传感探测模块,可将所提出的光路应用于不同场景,实现低成本的多参量测量。对于两种不同的光路工作状态,本装置采用相同的光源和传感探测模块,并且测量光斑与样品测量位置完全一致,可以将两种光路模式的测量结果在控制变量的前提下进行对比验证,或结合两种光路模式的干涉信号进行测量、实现优势互补。
Patent Agency Ranking
0/0