本发明涉及一种基于马氏距离的多芯片并行检测方法，包括步骤：获取若干待诊断芯片的特征参数，构建待诊断矩阵；计算所述待诊断矩阵中每个待诊断芯片的特征参数与故障字典中每类电路状态的特征参数之间的马氏距离，得到若干待诊断芯片的距离矩阵；根据所述距离矩阵中马氏距离的大小判断每个所述待诊断芯片的电路状态。本发明实施例的多芯片并行检测方法中，由多个诊断芯片的特征参数构建待诊断矩阵后，将待诊断矩阵与故障字典形成各自的矩阵，从而将每个待诊断芯片的特征参数可以与故障字典的特征参数同时进行对比，实现了同时对多芯片电路进行故障的监测工作，可以提高芯片电路故障诊断的准确性和效率。