本发明涉及化工技术领域，具体涉及一种含氟废气的处理方法及系统。对含氟尾气进行吸收，形成混酸和待净化尾气；对混酸进行分离，得到含氟混酸以及一定浓度范围的硫酸；对含氟混酸进行处理，得到氟化铵、氟硅酸铵、氟化氢铵、氟化稀土中的任意一种；对含氟混酸进行处理包括将含氟混酸与氨气混合进行氨解反应，得到氟化铵溶液和二氧化硅混合料浆，对混合浆料进行过滤，得到氟化铵溶液，基于氟化铵溶液得到氟化铵。实现含氟废气的处理，可用于生产氟化铵、氟硅酸铵、氟化氢铵、氟化稀土，其能量利用率高，资源消耗小。