发明授权
- 专利标题: 一种双管真空立式炉用升降炉门装置
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申请号: CN202410571720.7申请日: 2024-05-10
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公开(公告)号: CN118149598B公开(公告)日: 2024-07-19
- 发明人: 刘汉东 , 吴疆 , 任次春
- 申请人: 安徽旭腾微电子设备有限公司
- 申请人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区云谷路4708号
- 专利权人: 安徽旭腾微电子设备有限公司
- 当前专利权人: 安徽旭腾微电子设备有限公司
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市经济技术开发区云谷路4708号
- 代理机构: 合肥集知匠心知识产权代理事务所
- 代理商 谈盼盼
- 主分类号: F27D1/18
- IPC分类号: F27D1/18 ; F27D99/00
摘要:
本发明涉及真空立式炉升降门技术领域,具体提出了一种双管真空立式炉用升降炉门装置,包括:炉体、承接提升机构与密封机构。本发明通过承接提升机构与炉口以及密封机构相配合,实现升降式取放晶圆的功能,并对炉口与承托盘之间的空隙进行双重密封,避免外部空气进入炉体内,无需频繁抽真空,从而降低了能耗与时间成本,提高了晶圆的热处理效率,避免了空气中的杂物进入炉体内对双管真空立式炉与晶圆造成污染的问题,在晶圆热处理的过程中,承接提升机构与密封机构配合对炉口进行密封,确保炉内保持高真空状态,防止在炉体内的晶圆受到氧气或其他气体的影响。
公开/授权文献
- CN118149598A 一种双管真空立式炉用升降炉门装置 公开/授权日:2024-06-07