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公开(公告)号：CN118163255B
公开(公告)日：2024-07-16
申请号：CN202410606417.6
申请日：2024-05-16
申请人： 安徽旭腾微电子设备有限公司
摘要： 本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种基于四管立式炉加工的晶圆定位切割装置，包括加热台、放置圆板、锁紧机构和切割单元。本发明中在晶圆被放置在放置圆板上后，通过升降板带动环形板下移的单一驱动，使得驱动单元控制四个锁紧板对晶圆进行周向夹持固定，对晶圆的周向和上下方向进行限位，同时通过抵紧板带动滑动板和切割刀具同步左移至抵紧板与基准板接触的方式，最终使得切割刀具同步移动至指定切割位置处，通过升降板上下移动的单一驱动实现了对晶圆的快速固定夹持和驱动切割刀具移动至所需的指定切割位置处，确保同一规格的晶圆切割位置一致。
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公开(公告)号：CN118168316B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410588794.1
申请日：2024-05-13
申请人： 安徽旭腾微电子设备有限公司
摘要： 本发明提供了一种双管真空立式炉用加热系统，属于立式炉技术领域，它解决了现有技术中炉体内部的灰尘不便清理的问题。本双管真空立式炉用加热系统，包括底板以及安装板，安装板的下端固定安装有两个炉体，两个炉体的内顶部均固定安装有电动可旋伸缩杆，两个电动可旋伸缩杆的输出端下端均固定安装有固定架，固定架的侧面等间距固定安装有多个圆盘，两个炉体的内壁均固定安装有螺旋管，螺旋管的内部固定安装有加热丝，底板的中部转动安装有转杆，转杆的内部设置有转动机构，转杆的上端固定安装有两个延伸管，两个延伸管的端部均固定安装有玻璃管。本发明具有可以对真空炉内部的灰尘进行高效清理，同时对晶圆片均匀加热的优点。
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公开(公告)号：CN118149598A
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202410571720.7
申请日：2024-05-10
申请人： 安徽旭腾微电子设备有限公司
摘要： 本发明涉及真空立式炉升降门技术领域，具体提出了一种双管真空立式炉用升降炉门装置，包括：炉体、承接提升机构与密封机构。本发明通过承接提升机构与炉口以及密封机构相配合，实现升降式取放晶圆的功能，并对炉口与承托盘之间的空隙进行双重密封，避免外部空气进入炉体内，无需频繁抽真空，从而降低了能耗与时间成本，提高了晶圆的热处理效率，避免了空气中的杂物进入炉体内对双管真空立式炉与晶圆造成污染的问题，在晶圆热处理的过程中，承接提升机构与密封机构配合对炉口进行密封，确保炉内保持高真空状态，防止在炉体内的晶圆受到氧气或其他气体的影响。
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公开(公告)号：CN118168316A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410588794.1
申请日：2024-05-13
申请人： 安徽旭腾微电子设备有限公司
摘要： 本发明提供了一种双管真空立式炉用加热系统，属于立式炉技术领域，它解决了现有技术中炉体内部的灰尘不便清理的问题。本双管真空立式炉用加热系统，包括底板以及安装板，安装板的下端固定安装有两个炉体，两个炉体的内顶部均固定安装有电动可旋伸缩杆，两个电动可旋伸缩杆的输出端下端均固定安装有固定架，固定架的侧面等间距固定安装有多个圆盘，两个炉体的内壁均固定安装有螺旋管，螺旋管的内部固定安装有加热丝，底板的中部转动安装有转杆，转杆的内部设置有转动机构，转杆的上端固定安装有两个延伸管，两个延伸管的端部均固定安装有玻璃管。本发明具有可以对真空炉内部的灰尘进行高效清理，同时对晶圆片均匀加热的优点。
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公开(公告)号：CN118163255A
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202410606417.6
申请日：2024-05-16
申请人： 安徽旭腾微电子设备有限公司
摘要： 本发明涉及晶圆加工技术领域，具体为一种基于四管立式炉加工的晶圆定位切割装置，包括加热台、放置圆板、锁紧机构和切割单元。本发明中在晶圆被放置在放置圆板上后，通过升降板带动环形板下移的单一驱动，使得驱动单元控制四个锁紧板对晶圆进行周向夹持固定，对晶圆的周向和上下方向进行限位，同时通过抵紧板带动滑动板和切割刀具同步左移至抵紧板与基准板接触的方式，最终使得切割刀具同步移动至指定切割位置处，通过升降板上下移动的单一驱动实现了对晶圆的快速固定夹持和驱动切割刀具移动至所需的指定切割位置处，确保同一规格的晶圆切割位置一致。
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公开(公告)号：CN117690844A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202410145462.6
申请日：2024-02-02
申请人： 安徽旭腾微电子设备有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
摘要： 本发明涉及晶圆输送技术领域，特别涉及一种立式炉加工晶圆自动传送设备，包括传送模块，所述传送模块上左右对称可拆卸安装有两个圆环板。采用现有的方法对多个晶圆进行输送时，通常需要先准备好输送设备、载具和清理工作区域，然后将晶圆放置在合适的载具上，再将载有晶圆的载具放置在输送设备上，晶圆到达目标位置后，对其进行相应的处理，步骤简单，但晶圆不易放置在载具上，在晶圆的放置过程中晶圆易与载具发生碰撞。本发明采用的导向装置可以在晶圆放置时对晶圆进行导向，从而避免了晶圆与设备出现磕碰，确保了晶圆放置后的完整性，并且导向装置还扩大了晶圆进入的开口，降低了晶圆放置的难度。
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公开(公告)号：CN118149598B
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410571720.7
申请日：2024-05-10
申请人： 安徽旭腾微电子设备有限公司
摘要： 本发明涉及真空立式炉升降门技术领域，具体提出了一种双管真空立式炉用升降炉门装置，包括：炉体、承接提升机构与密封机构。本发明通过承接提升机构与炉口以及密封机构相配合，实现升降式取放晶圆的功能，并对炉口与承托盘之间的空隙进行双重密封，避免外部空气进入炉体内，无需频繁抽真空，从而降低了能耗与时间成本，提高了晶圆的热处理效率，避免了空气中的杂物进入炉体内对双管真空立式炉与晶圆造成污染的问题，在晶圆热处理的过程中，承接提升机构与密封机构配合对炉口进行密封，确保炉内保持高真空状态，防止在炉体内的晶圆受到氧气或其他气体的影响。
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公开(公告)号：CN117690844B
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410145462.6
申请日：2024-02-02
申请人： 安徽旭腾微电子设备有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/673
摘要： 本发明涉及晶圆输送技术领域，特别涉及一种立式炉加工晶圆自动传送设备，包括传送模块，所述传送模块上左右对称可拆卸安装有两个圆环板。采用现有的方法对多个晶圆进行输送时，通常需要先准备好输送设备、载具和清理工作区域，然后将晶圆放置在合适的载具上，再将载有晶圆的载具放置在输送设备上，晶圆到达目标位置后，对其进行相应的处理，步骤简单，但晶圆不易放置在载具上，在晶圆的放置过程中晶圆易与载具发生碰撞。本发明采用的导向装置可以在晶圆放置时对晶圆进行导向，从而避免了晶圆与设备出现磕碰，确保了晶圆放置后的完整性，并且导向装置还扩大了晶圆进入的开口，降低了晶圆放置的难度。
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公开(公告)号：CN219776303U
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202321048839.3
申请日：2023-05-05
申请人： 安徽旭腾微电子设备有限公司
摘要： 本申请属于管式炉技术领域，公开了双管立式炉炉体加热系统的结构，包括炉体，炉体的顶面设置有控制箱，炉体的上内壁和下内壁均堆砌有炉衬并形成炉膛，炉膛内固定连接有四块集成板，集成板的相对面之间固定连接有氮化硅陶瓷管，炉体内部滑动连接有两根管体，管体伸至氮化硅陶瓷管内部并与氮化硅陶瓷管滑动连接，集成板的四角均插接有水平的硅钼棒，硅钼棒与氮化硅陶瓷管外表面抵触，且硅钼棒与控制箱电性连接，通过氮化硅陶瓷管来对硅钼棒产生的热量进行传导，因氮化硅陶瓷管热导数较高，故能耗较少，氮化硅陶瓷管包裹管体，使得热量能够均匀输送至管体内部，有利于热量的扩散，利于对管体内部材料的加热。
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公开(公告)号：CN219319078U
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202320875711.8
申请日：2023-04-19
申请人： 安徽旭腾微电子设备有限公司
摘要： 本申请属于密封技术领域，公开了双管立式炉石英管排气口耐高温密封结构，包括排气口、支架、卡接组件以及旋紧组件，支架设置在排气口上方，卡接组件设置在支架上，旋紧组件设置在支架上方；通过翻转圆环即可带动卡接杆进入卡接槽内，使得圆环被卡接固定，确保旋紧组件能够正对排气口，同时通过按下按压板即可解除卡接，方便快捷，通过启动马达带动螺纹柱转动，由于圆盘被弹簧件限位，使得圆盘不断朝向排气口位移，直至二者贴合完成密封，使得排气口得以封闭，使得双管立式炉中的有害物质不会再排出。
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