本公开实施例中提供了一种异质结太阳能电池及其制备方法，该异质结太阳能电池包括：单晶硅衬底；第一本征非晶硅层，设置于所述单晶硅衬底的一侧；第一掺杂非晶/微晶硅层，设置于所述第一本征非晶硅层的远离所述单晶硅衬底的一侧；以及第一透明导电氧化物TCO层，设置于所述第一掺杂非晶/微晶硅层的远离所述第一本征非晶硅层的一侧；以及第一电极，设置于所述第一透明导电氧化物TCO层的远离所述第一掺杂非晶/微晶硅层的一侧；其中所述第一透明导电氧化物TCO层包括层叠的第一氧化铟基TCO层、第一金属氧化物缓冲层和第一氧化锡基TCO层。通过本公开的方案，能够提升异质结太阳能电池的光电转换效率。