一种SE-TOPCon电池及其制备方法
摘要:
本发明公开一种SE‑TOPCon电池及其制备方法。本发明在高温硼扩后,采用激光在金属电极区域进行重掺杂工艺,在非金属电极区域进行轻掺杂工艺,实现硅片正面的硼原子的分区掺杂;并且,配合调整高温磷扩散工艺,使在该步骤在完成硅片背面磷掺杂的同时,实现硅片正面硼原子的再分布;通过上述工艺调整,省去了传统工艺的高温退火工序,节省了设备成本、人工成本和材料成本,且通过控制激光推进工艺和磷扩散工艺的参数,避免了省去高温退火工序对电池性能的不利影响,保证了电池性能。本发明提供的SE‑TOPCon电池的制备方法简便、操作方便,能够有效降低生产成本,提高电池的生产效率,推进高效太阳电池制备技术的发展具有重要意义。
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