发明公开
- 专利标题: 一种SE-TOPCon电池及其制备方法
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申请号: CN202410547469.0申请日: 2024-05-06
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公开(公告)号: CN118231528A公开(公告)日: 2024-06-21
- 发明人: 马红娜 , 王子谦 , 郎芳 , 王红芳 , 夏新中 , 赵学玲 , 史金超 , 潘明翠 , 翟金叶 , 孟庆超 , 苏政 , 孟灿 , 周渊博 , 宾鹏帅 , 于波 , 刘莹 , 麻超
- 申请人: 英利能源发展有限公司
- 申请人地址: 河北省保定市朝阳北大街3399号5号厂房227室
- 专利权人: 英利能源发展有限公司
- 当前专利权人: 英利能源发展有限公司
- 当前专利权人地址: 河北省保定市朝阳北大街3399号5号厂房227室
- 代理机构: 河北国维致远知识产权代理有限公司
- 代理商 张新利
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/0216 ; H01L31/0224 ; H01L31/0288 ; H01L31/0352 ; H01L31/068
摘要:
本发明公开一种SE‑TOPCon电池及其制备方法。本发明在高温硼扩后,采用激光在金属电极区域进行重掺杂工艺,在非金属电极区域进行轻掺杂工艺,实现硅片正面的硼原子的分区掺杂;并且,配合调整高温磷扩散工艺,使在该步骤在完成硅片背面磷掺杂的同时,实现硅片正面硼原子的再分布;通过上述工艺调整,省去了传统工艺的高温退火工序,节省了设备成本、人工成本和材料成本,且通过控制激光推进工艺和磷扩散工艺的参数,避免了省去高温退火工序对电池性能的不利影响,保证了电池性能。本发明提供的SE‑TOPCon电池的制备方法简便、操作方便,能够有效降低生产成本,提高电池的生产效率,推进高效太阳电池制备技术的发展具有重要意义。
IPC分类: