一种SE-TOPCon电池及其制备方法
摘要:
本发明涉及太阳能电池技术领域,具体公开一种SE‑TOPCon电池及其制备方法。本发明在硼扩后采用掩膜将金属化区的富硼层进行掩盖后,进行后续的隧穿氧化层和多晶硅层的制备和磷扩散掺杂/原位扩散掺杂,然后经过清洗去除掩膜和非掩膜区的BSG层和富硼层,保留掩膜下的富硼层,将该富硼层作为重掺区,不但可以省去激光推进工序,且硼扩工序形成的富硼层的厚度较薄,可制成较浅的PN结,结深浅,有利于短波吸收,提高短路电流,进而提升电池效率。本发明提供的SE‑TOPCon电池的制备方法简便,无需昂贵的激光设备,设备投入低,能够有效降低电池的生产成本,并提高电池的生产效率,对于推进高效太阳电池制备技术的发展具有重要意义。
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