本发明涉及光谱仪低温控制技术领域，具体涉及一种光谱仪的低温恒温设备，包括：恒温箱和控制单元，恒温箱包括：壳体；温控组件；温度传感器，其设置于真空腔内用于检测实时温度，温度传感器与控制单元电连接；温湿度传感器，其设置于壳体的外侧壁上用于检测环境相对湿度和环境温度，温湿度传感器与控制单元电连接；薄膜电容真空计，其设置于真空腔内用于检测实时压力，薄膜电容真空计与控制单元电连接；控制单元包括：信息采集模块、制冷模块、调整模块和加热模块。本发明通过加热模块与制冷模块的双向控制保证光谱仪在检测过程中温度变化处于标准范围，避免因为温度变化导致压强变化，进而影响光谱测量的准确性。