分栅快闪存储器及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种分栅快闪存储器,L型擦除栅的第一竖直部分自对准形成于第一开口的侧面,第二横向部分的侧面由形成于第一竖直部分的第二侧面的第一侧墙的第二侧面自对准定义;浮栅位于第二横向部分的底部,浮栅的第二侧面由形成于浮栅侧面的第二侧墙的第二侧面自对准定义;源区由浮栅的第二侧面自对准定义;浮栅的第二侧面形成有第三侧墙,源区顶部的源极线由第一至第三侧墙的第二侧面自对准定义。第一竖直部分的第一侧面自对准定义自对准定义第一栅极间介质层和浮栅的第一侧面,字线栅自对准形成于位于浮栅的第一侧面的第四侧墙的第一侧面以及第四侧墙顶部的第一竖直部分的第一侧面。本发明还公开了一种分栅快闪存储器的制造方法。
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