发明公开
- 专利标题： 带通滤波器的制造方法和带通滤波器
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申请号： CN202280077207.1申请日： 2022-11-01
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公开(公告)号： CN118284832A公开(公告)日： 2024-07-02
- 发明人: 瀬古贵文 , 高坂正臣 , 冈本博
- 申请人： 浜松光子学株式会社
- 申请人地址： 日本
- 专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人： 浜松光子学株式会社
- 当前专利权人地址： 日本
- 代理机构： 北京尚诚知识产权代理有限公司
- 代理商 杨琦; 梁策
- 优先权： 2021-190774 20211125 JP
- 国际申请： PCT/JP2022/040900 2022.11.01
- 国际公布： WO2023/095574 JA 2023.06.01
- 进入国家日期： 2024-05-21
- 主分类号： G02B5/28
- IPC分类号： G02B5/28
摘要：
本发明的带通滤波器的制造方法是由电介质多层膜(2)构成的带通滤波器(1)的制造方法，该电介质多层膜(2)包括：由TiO2构成的腔层(3)；和以夹持腔层(3)的方式配置的、由高折射率材料构成的第1电介质层(4)与由低折射率材料构成的第2电介质层(5)交替层叠而成的层叠部分(6)，在电介质多层膜(2)的成膜工序中，设定有：通过在该工序中暂时停止成膜，而使成膜基板(15)的温度降低的成膜停止期间(T1)。
