- 专利标题: 一种晶圆盒存取方法、装置、电子设备和存储介质
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申请号: CN202410742666.8申请日: 2024-06-11
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公开(公告)号: CN118313637A公开(公告)日: 2024-07-09
- 发明人: 王瑞骥 , 余君山
- 申请人: 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
- 专利权人: 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
- 当前专利权人: 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路888号C楼
- 代理机构: 北京超凡宏宇知识产权代理有限公司
- 代理商 李强
- 主分类号: G06Q10/0631
- IPC分类号: G06Q10/0631 ; G06Q10/087 ; G06Q10/10
摘要:
本发明提供一种晶圆盒存取方法、装置、电子设备和存储介质,通过基于每个晶圆盒取出任务的当前存储单元、输出端口、任务优先级,以及相应晶圆盒取出任务切换至任意其他晶圆盒取出任务的代价,确定各个晶圆盒取出任务的调度执行顺序后,基于各个晶圆盒取出任务的调度执行顺序,控制堆垛机执行相应的晶圆盒取出任务,在任一晶圆盒取出任务被执行完毕后,基于该晶圆盒取出任务的下一晶圆盒取出任务的当前存储单元以及各个晶圆盒存储任务的目的存储单元,确定该晶圆盒取出任务对应的晶圆盒存储任务,然后控制堆垛机执行该晶圆盒取出任务对应的晶圆盒存储任务之后,执行该晶圆盒取出任务的下一晶圆盒取出任务,提升了晶圆传输任务的执行效率。
公开/授权文献
- CN118313637B 一种晶圆盒存取方法、装置、电子设备和存储介质 公开/授权日:2024-08-20