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公开(公告)号：CN118083808A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410489193.5
申请日：2024-04-23
申请人： 华芯智上半导体设备(上海)有限公司 , 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
摘要： 本发明提供一种面向天车系统的动态路径规划方法和装置，通过基于样本轨道环境信息、样本天车的天车状态以及任意两个样本节点间的样本最短行驶时间，对多层卷积神经网络进行训练后得到优化启发式网络，将优化启发式网络作为启发式函数集成到A‑Star算法中，以在初始状态下，基于天车系统的轨道地图和优化启发式网络，为当前天车进行路径规划；在行进过程中，若当前最优路径中任一未走路径点的轨道状态发生变化，则基于优化启发式网络和轨道子图，对当前最优路径进行更新，利用预先训练的优化启发式网络对A‑Star算法进行搜索指导，综合空间环境信息和天车的运动约束进行路径代价预测，提升搜索准确性，提高了天车系统路径规划的精度。
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公开(公告)号：CN117894725B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410296567.1
申请日：2024-03-15
申请人： 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本申请的实施例公开了一种自动化物料传输系统，包括第一轨道、搬运天车、第一清洁主体、第一活动件、第一弹性件以及调节组件。调节组件根据第一轨道的曲率调节第一活动件的位置，从而调节第一弹性件的弹力大小，在保证第一弹性件克服第一清洁主体的材料弹性将第一清洁主体抵压并贴合于第一轨道的前提下，第一弹性件对第一清洁件施加的弹力中的一部分被第一清洁件的弹性复位力抵消，使得第一清洁主体和第一轨道之间的抵压力保持在相对较小的水平。
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公开(公告)号：CN117894725A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410296567.1
申请日：2024-03-15
申请人： 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本申请的实施例公开了一种自动化物料传输系统，包括第一轨道、搬运天车、第一清洁主体、第一活动件、第一弹性件以及调节组件。调节组件根据第一轨道的曲率调节第一活动件的位置，从而调节第一弹性件的弹力大小，在保证第一弹性件克服第一清洁主体的材料弹性将第一清洁主体抵压并贴合于第一轨道的前提下，第一弹性件对第一清洁件施加的弹力中的一部分被第一清洁件的弹性复位力抵消，使得第一清洁主体和第一轨道之间的抵压力保持在相对较小的水平。
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公开(公告)号：CN118248608B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410666490.2
申请日：2024-05-28
申请人： 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , B66C11/02 , B66C9/14 , B66C7/12 , B65G47/90
摘要： 本申请的实施例公开了一种自动化物料搬送系统。中继车沿轨道的延伸方向位于第一天车和第二天车之间，且分别相对第一天车和第二天车处于预定位置时，中继车用于分别承接第一天车释放的物料以及第二天车释放的配重件，并交换物料和配重件的位置，以供第一天车抓取配重件，以及供第二天车抓取物料。其中，物料的重力对中继车产生第一力矩，配重件的重力对中继车产生第二力矩，第二力矩能够抵消至少部分的第一力矩。由此，降低了个别天车的停止运行对整体运行效率的影响。另外，通过设置配重件，中继车在转移物料过程中更有利于保持稳定，从而降低了物料意外脱离中继车的风险。
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公开(公告)号：CN118313637A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410742666.8
申请日：2024-06-11
申请人： 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
IPC分类号： G06Q10/0631 , G06Q10/087 , G06Q10/10
摘要： 本发明提供一种晶圆盒存取方法、装置、电子设备和存储介质，通过基于每个晶圆盒取出任务的当前存储单元、输出端口、任务优先级，以及相应晶圆盒取出任务切换至任意其他晶圆盒取出任务的代价，确定各个晶圆盒取出任务的调度执行顺序后，基于各个晶圆盒取出任务的调度执行顺序，控制堆垛机执行相应的晶圆盒取出任务，在任一晶圆盒取出任务被执行完毕后，基于该晶圆盒取出任务的下一晶圆盒取出任务的当前存储单元以及各个晶圆盒存储任务的目的存储单元，确定该晶圆盒取出任务对应的晶圆盒存储任务，然后控制堆垛机执行该晶圆盒取出任务对应的晶圆盒存储任务之后，执行该晶圆盒取出任务的下一晶圆盒取出任务，提升了晶圆传输任务的执行效率。
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公开(公告)号：CN118227741A
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN202410643052.4
申请日：2024-05-23
申请人： 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
IPC分类号： G06F16/33 , G06F18/2411 , G06F18/213
摘要： 本发明提供天车系统告警日志分析方法、装置、电子设备和存储介质，通过遍历告警信息集合做好数据准备后，确定每个告警类型的时序向量，针对任一告警类型，提取该告警类型的语义向量，针对任意两个告警类型，确定任意两个告警类型之间的关联强度，从而可以针对任意两个告警类型，基于任意两个告警类型的时序向量、语义向量和任意两个告警类型之间的关联强度，确定任意两个告警类型是否为关联告警类型，整个挖掘过程只用完整遍历一次日志库中的告警信息即可，提升了挖掘效率，此外，整个挖掘方式中考虑了单个告警类型的告警信息自身的时序特性和语义信息，同时结合了两个告警类型的告警信息之间的时序关联度，提升了告警关联性的挖掘准确度。
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公开(公告)号：CN117557184B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311373869.6
申请日：2023-10-20
申请人： 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
IPC分类号： G06Q10/0835 , G06Q10/0631 , G06Q10/20 , G06Q10/083
摘要： 本申请提供一种天车运行故障处理方法、系统、电子设备及介质，涉及天车调度控制领域，该方法包括：获取故障天车停留的轨道段或者待维修的轨道段，作为故障轨道段；在用于天车路径规划和调度的当前轨道地图中忽略故障轨道段后，检测当前轨道地图中是否存在目标天车的运输起点和运输终点的闭合轨道路径；若存在，则故障轨道段为非必要轨道段，若不存在，则确定故障轨道段为必要轨道段；本申请在更换、维修故障轨道，或者天车故障停留造成相关轨道段无法使用时，及时更新天车路径规划依赖的轨道地图，避免相关故障轨道段参与路径规划，能够对天车运行的路径进行合理的规划，提高天车的运行效率，最大化利用天车，进而提高半导体的生产效率。
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公开(公告)号：CN117900171A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410315795.9
申请日：2024-03-20
申请人： 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
摘要： 本申请的实施例公开了一种导轨清洁车，导轨清洁车包括车身主体、抽吸管件以及壳体。车身主体用于架设于导轨并行走，导轨具有相邻接的承载表面以及引导表面，承载表面和引导表面围设形成沿预定方向逐渐收窄的凸起结构；抽吸管件沿预定方向延伸，抽吸管件的入口朝向承载表面和引导表面的邻接边；壳体连接于抽吸管件的入口端，并通过入口与抽吸管件连通，壳体背离抽吸管件一侧形成沿预定方向逐渐收窄的凹陷结构，并罩设于承载表面和引导表面，壳体具有多个将壳体的空腔与外界连通的抽吸孔，一部分抽吸孔相对承载表面设置，另一部分抽吸孔相对引导表面设置。导轨清洁车能够对物料搬运天车行驶的导轨进行清洁，并具有较好的清洁效果。
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公开(公告)号：CN117557184A
公开(公告)日：2024-02-13
申请号：CN202311373869.6
申请日：2023-10-20
申请人： 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
IPC分类号： G06Q10/0835 , G06Q10/0631 , G06Q10/20 , G06Q10/083
摘要： 本申请提供一种天车运行故障处理方法、系统、电子设备及介质，涉及天车调度控制领域，该方法包括：获取故障天车停留的轨道段或者待维修的轨道段，作为故障轨道段；在用于天车路径规划和调度的当前轨道地图中忽略故障轨道段后，检测当前轨道地图中是否存在目标天车的运输起点和运输终点的闭合轨道路径；若存在，则故障轨道段为非必要轨道段，若不存在，则确定故障轨道段为必要轨道段；本申请在更换、维修故障轨道，或者天车故障停留造成相关轨道段无法使用时，及时更新天车路径规划依赖的轨道地图，避免相关故障轨道段参与路径规划，能够对天车运行的路径进行合理的规划，提高天车的运行效率，最大化利用天车，进而提高半导体的生产效率。
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公开(公告)号：CN118366904B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410789017.3
申请日：2024-06-19
申请人： 华芯智上半导体设备(上海)有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本申请的实施例公开了一种空中搬运系统，属于运输设备技术领域。空中搬运系统包括轨道、第一天车以及第二天车。第一天车包括第一车主体、第一主传动件、第一驱动件以及移载件，移载件用于承载料盒。第二天车包括第二车主体、第二主传动件以及第二驱动件。其中，当第二车主体和第一车主体处于预定状态时，第一主传动件和第二主传动件可分离地对接以传递扭矩，并用于依次与移载件形成传动配合结构，以带动移载件由第一车主体转移至第二车主体。本申请实施例降低了个别天车的停止运行对整体运行效率的影响。另外，即使第一天车中的第一驱动件丧失驱动力，也能够通过第二天车中的第二驱动件提供驱动力，能够提高转移料盒的成功率。
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