一种低介低损耗的低温共烧陶瓷/玻璃复合材料
摘要:
本申请提供了一种低温共烧陶瓷/玻璃复合材料及其制备方法,通过将氧化铝(Al2O3)作为陶瓷相,CaO‑B2O3‑SiO2(CBS)作为玻璃相,并通过K2O、LiF、Nb2O5的添加,使制备得到的低温共烧陶瓷/玻璃复合材料在用于制备微电子原件时,其烧制温度可以降低至800‑875℃,同时介电常数降低至6.0‑8.5,介电损耗降低至0.6×10‑4‑0.1×10‑4(1MHz)。
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