含酚性羟基树脂、感光性树脂组合物、固化性组合物和抗蚀膜
摘要:
本发明提供含酚性羟基树脂、感光性树脂组合物、固化性组合物和抗蚀膜。提供对弱碱显影液具有优异的溶解性、并且具有与光敏剂的高亲和性、不使用甲醛的感光性树脂组合物。一种含酚性羟基树脂,其包含:由酚化合物衍生的结构单元(a)、由具有羧基的脂肪族醛化合物衍生的结构单元(b)、和由芳香族醛化合物衍生的结构单元(c)。
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