本发明公开了一种芯片表面缺陷的检测方法、装置、设备和存储介质，属于图像数据处理技术领域，方法包括：获取标准模板与同一批次的样本数据集，对每个样本图像进行分割处理，得到最小比对单元；设定差异度阈值，将样本图像的各个最小比对单元与所述标准模板中的芯片图像进行比对，得到缺陷单元；对样本图像的缺陷单元进行概率统计得到差异度矩阵，并得到每个最小比对单元的缺陷概率；之后对检测获得的缺陷进行统计分析，并得到不同置信等级下的缺陷区域集，通过对缺陷区域集中的检测中心区域进行合理规划，能大幅减少缺陷检测的扫描次数和采样量，可以对同一批次的芯片中剩余的芯片进行合理规划，无需对剩余芯片的全部区域逐个拍照，节省时间。