本发明涉及一种单粒子电感耦合等离子(ICP)体质谱法粒子尺寸确定和计数方法，其包括：提供或接收使用ICP质谱仪检测到的粒子的强度对计数直方图，该强度表示粒子检测并且该计数表示粒子检测频率；提供或接收质量通量校准数据或校准曲线数据，其将ICP质谱仪的强度测量或数据的值与每个采集间隔或停留时间检测到的材料的质量相关；使用质量通量校准数据或至少一个质量通量校准曲线数据来确定检测到的粒子的粒子质量，使用确定的粒子质量来确定检测到的粒子的粒子体积，以及使用检测到的粒子的确定的粒子体积以及检测到的粒子的确定或归属的几何形状或形状来确定检测到的粒子的粒子尺寸。