发明公开
- 专利标题: 一种适用于镍金结构工艺的无氰电镀金溶液
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申请号: CN202410807541.9申请日: 2024-06-21
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公开(公告)号: CN118374846A公开(公告)日: 2024-07-23
- 发明人: 王江锋 , 姚玉
- 申请人: 深圳创智芯联科技股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区西乡街道龙腾社区汇智研发中心BC座C2802
- 专利权人: 深圳创智芯联科技股份有限公司
- 当前专利权人: 深圳创智芯联科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区西乡街道龙腾社区汇智研发中心BC座C2802
- 主分类号: C25D3/48
- IPC分类号: C25D3/48 ; C25D7/12
摘要:
本发明涉及一种适用于镍金结构工艺的无氰电镀金溶液,该溶液配方包括以下组分:金离子3‑14g/L、络合剂30‑100g/L、无机盐10‑20g/L、表面活性剂10‑30mg/L、晶粒细化剂10‑40mg/L、稳定剂20‑60mg/L、促进剂30‑60mg/L、缓蚀剂0.5‑1.5g/L,pH值为7.5‑9,温度在40‑70℃之间,电流密度在0.1‑1.0A/dm2。该无氰电镀金溶液适用于半导体RDL、UBM、bumping,在镍镀层上面获得的金镀层具有良好的镀层结合力,获得的0.05‑2.0μm的金镀层,外观细腻,粗糙度低于20nm,镀液稳定性良好,并且对光刻胶无明显攻击。
公开/授权文献
- CN118374846B 一种适用于镍金结构工艺的无氰电镀金溶液 公开/授权日:2024-08-30