一种基于氧化镍量子点材料的氢气传感器的制备方法
Abstract:
本申请涉及气体传感技术领域,特别涉及一种基于氧化镍量子点材料的氢气传感器的制备方法,包括以下步骤:提供衬底;在衬底上形成绝缘层;对绝缘层进行图案化处理,得到预悬浮膜结构;在绝缘层上形成籽晶层;在籽晶层上光刻套刻电极图案;在籽晶层表面形成具有惠斯通电桥图案的电极层,洗胶后进行退火处理;去除多余籽晶层及部分衬底,形成具有悬浮膜结构、惠斯通电桥结构电极的MEMS微加热板;在电极层氢敏区域滴凃氢敏材料浆料,形成氢敏层;其中,氢敏材料浆料通过将氧化镍量子点和钯纳米颗粒加入α‑松油醇、异丙醇以及PEG‑300混合溶液中搅拌制得。本申请实现了器件在较低温度下对氢气优越的传感性能并兼具微型化、易于集成、低成本的优势。
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