电镀铜柱用干膜及IC载板铜柱
摘要:
本发明公开了一种电镀铜柱用干膜及IC载板铜柱,其中所述干膜为至少三层结构,其总厚度不小于50μm,每层干膜的厚度均不超过20μm;每层所述干膜的原料均包括:45‑65质量份碱溶性树脂、30‑50质量份光聚合单体、2‑4质量份光引发剂和0.2‑1.8质量份光敏剂;各层干膜中光敏剂的含量从上到下依次递增,且相邻两层干膜中,下层干膜与上层干膜中的光敏剂质量比为1.05‑1.4。本发明通过使光敏剂的用量从上到下逐渐增加,同时满足相邻两层干膜中,下层干膜与上层干膜中的光敏剂质量比为1.05‑1.4,弥补了固化光线穿过干膜时的能量衰减,从而避免显影过程中发生侧蚀现象。
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