发明授权
- 专利标题: 电镀铜柱用干膜及IC载板铜柱
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申请号: CN202410864705.1申请日: 2024-07-01
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公开(公告)号: CN118393813B公开(公告)日: 2024-11-05
- 发明人: 肖志义 , 张念琦 , 毛灿 , 王爱军 , 党泽龑
- 申请人: 湖南初源新材料股份有限公司
- 申请人地址: 湖南省娄底市经济技术开发区群乐街北侧、南北三路西侧
- 专利权人: 湖南初源新材料股份有限公司
- 当前专利权人: 湖南初源新材料股份有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省娄底市经济技术开发区群乐街北侧、南北三路西侧
- 代理机构: 长沙智嵘专利代理事务所
- 代理商 黄海波
- 主分类号: G03F7/004
- IPC分类号: G03F7/004 ; H01L23/498 ; G03F7/027
摘要:
本发明公开了一种电镀铜柱用干膜及IC载板铜柱,其中所述干膜为至少三层结构,其总厚度不小于50μm,每层干膜的厚度均不超过20μm;每层所述干膜的原料均包括:45‑65质量份碱溶性树脂、30‑50质量份光聚合单体、2‑4质量份光引发剂和0.2‑1.8质量份光敏剂;各层干膜中光敏剂的含量从上到下依次递增,且相邻两层干膜中,下层干膜与上层干膜中的光敏剂质量比为1.05‑1.4。本发明通过使光敏剂的用量从上到下逐渐增加,同时满足相邻两层干膜中,下层干膜与上层干膜中的光敏剂质量比为1.05‑1.4,弥补了固化光线穿过干膜时的能量衰减,从而避免显影过程中发生侧蚀现象。
公开/授权文献
- CN118393813A 电镀铜柱用干膜及IC载板铜柱 公开/授权日:2024-07-26
IPC分类: