一种晶圆清洗花篮，属于晶圆片的专用载体技术领域，花篮包括：两个框体，框体均布有至少三根相互平行的支撑杆，支撑杆的两端分别连接于两块端板，两个框体顶部的一侧边转动相连。支撑杆上均沿长度方向阵列套设有多个夹套，相邻夹套之间均套设有衬套，两个框体上的夹套与衬套沿着支撑杆的长度方向错位设置；夹套包括同轴设置的两片环形结构的侧压板，两块侧压板相对一侧的内圈之间通过一鼓形套相连，鼓形套具有弹性，其中部沿圆周向外拱起。两个框体盖合之后，沿支撑杆同一截面上的衬套与鼓形套外表面之间形成的最小圆形轨迹的内径小于晶圆的外径。本方案可在清洗时进行翻转或摆动，并能防止晶圆掉落，并且晶圆的装取更加方便。