发明授权
- 专利标题： 一种抛光设备
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申请号： CN202410874366.5申请日： 2024-07-01
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公开(公告)号： CN118404490B公开(公告)日： 2024-09-13
- 发明人: 朱亮 , 李阳健 , 郑猛 , 黄金涛 , 韩鹏飞
- 申请人： 浙江求是半导体设备有限公司 , 浙江晶盛机电股份有限公司
- 申请人地址： 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室;
- 专利权人： 浙江求是半导体设备有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人： 浙江求是半导体设备有限公司,浙江晶盛机电股份有限公司
- 当前专利权人地址： 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室;
- 代理机构： 杭州钤韬知识产权代理事务所
- 代理商 许红平
- 主分类号： B24B37/04
- IPC分类号： B24B37/04 ; B24B37/005 ; B24B37/34 ; B24B49/00
摘要：
本申请涉及半导体抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光设备及检测方法，包括：抛光盘，所述抛光盘具有工作面；抛光垫，所述抛光垫粘接设置于所述工作面上；以及检测组件，所述检测组件位于所述抛光盘和所述抛光垫之间，并连接于所述抛光盘或所述抛光垫上，所述检测组件用于检测所述抛光垫和所述抛光盘之间的间距并输出。解决了抛光垫状态无法检测的技术问题，达到了实时检测抛光垫及气泡状态的技术效果。
公开/授权文献
- CN118404490A 一种抛光设备 公开/授权日：2024-07-30
