发明公开
CN118435091A 波导及其制造方法
审中-公开
- 专利标题： 波导及其制造方法
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申请号： CN202280085296.4申请日： 2022-11-23
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公开(公告)号： CN118435091A公开(公告)日： 2024-08-02
- 发明人: G·J·H·布鲁斯阿德 , J·R·K·科勒
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王益
- 优先权： 21217158.1 20211222 EP
- 国际申请： PCT/EP2022/083032 2022.11.23
- 国际公布： WO2023/117284 EN 2023.06.29
- 进入国家日期： 2024-06-21
- 主分类号： G02B6/02
- IPC分类号： G02B6/02
摘要：
本文描述一种波导，包括：第一区段，所述第一区段被配置成通过非线性光学过程来产生被提供至所述波导的输入端的脉冲辐射的加宽波长光谱；第二区段，所述第二区段包括所述波导的输出端，所述第二区段被配置成展现比所述第一区段更大的群速度色散的绝对值；其中所述第二区段的长度被配置成使所述加宽波长光谱的一个或更多个峰的峰强度减小至少20％。也在本文中描述一种用于制造波导的方法。