发明公开
CN118435124A 吹扫气体供应
审中-公开
- 专利标题： 吹扫气体供应
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申请号： CN202280084206.X申请日： 2022-12-07
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公开(公告)号： CN118435124A公开(公告)日： 2024-08-02
- 发明人: S·范德格拉费 , K·T·苏加萨 , K·F·佛斯特拉 , M·A·G·默凯科斯 , A·J·范德内特
- 申请人： ASML荷兰有限公司
- 申请人地址： 荷兰维德霍温
- 专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人： ASML荷兰有限公司
- 当前专利权人地址： 荷兰维德霍温
- 代理机构： 北京市金杜律师事务所
- 代理商 杨飞
- 优先权： 22165894.1 20220331 EP 22165894.1 20220331 EP
- 国际申请： PCT/EP2022/084812 2022.12.07
- 国际公布： WO2023/117432 EN 2023.06.29
- 进入国家日期： 2024-06-19
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20
摘要：
一种用于生成包括氢气和氧气的吹扫气体的气体供应设备，该设备包括：氢气入口，被配置为接收氢气气流；混合气体入口，被配置为接收包括氮气和氧气的混合气流；质量流量控制器，与混合气体入口流体连通并且被配置为提供具有受控质量流率的受控气流；浓缩器，被配置为生成浓缩气流，该浓缩气流的氮氧比例低于第一气流；以及混合器，被配置为将氢气气流与包含混合气体的流混合。
IPC分类:
