本发明公开了一种氧化镓紫外光电探测器电极结构及其制备方法和应用，所述电极结构由下至上包括在氧化镓表面设置的氧化锌铝薄膜和叉指电极。本发明针对氧化镓材料制备过程粗糙度较大的问题，在氧化镓的表面制备与氧化镓晶格常数适配的氧化锌铝，可以有效减少氧化镓电极层的粗糙度，进一步在氧化锌铝上溅射金属则可以得到表面平整度高的金属电极。基于氧化锌铝较好的透光性以及表面平整度高的叉指电极，由本发明的电极结构构建的紫外光电探测器可以减少入射光能量的散射和反射，并改善界面之间缺陷的捕获现象，从而减少光能损失，增强光电探测的灵敏度。