一种千安级单管型SiC功率半导体模块的封装结构及方法
摘要:
本发明属于半导体技术领域,公开了一种千安级单管型SiC功率半导体模块的封装结构,主要包含SiC芯片、陶瓷基板、底板、功率与信号端子、集成栅极/开尔文源极电阻、外壳等组件。本发明所提封装结构改善了多芯片并联电热性能、减小了功率模块尺寸、突破了并联SiC芯片数量限制,极大地提升了现有SiC功率半导体模块的电流容量与功率密度,尤其适用于轨道交通牵引、柔性直流输电等大功率场合用1.7kV~6.5kV单管型功率半导体模块。此外,本发明所提封装结构兼容传统的焊接、键合、灌封等工艺,制备方法成熟,适合在实际工程中大规模推广应用。
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