发明公开
- 专利标题： 一种基于二维材料制备用衬底雾化喷涂系统及方法
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申请号： CN202410570122.8申请日： 2024-05-09
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公开(公告)号： CN118480769A公开(公告)日： 2024-08-13
- 发明人: 龚成师 , 蒋锴 , 蒙旭娟 , 李永军 , 张正荣 , 李积雅 , 王光毅 , 李居平 , 甄小娟 , 柳慧玲 , 李伟洁 , 郭晨晓
- 申请人： 兰州城市学院
- 申请人地址： 甘肃省兰州市安宁区街坊路11号
- 专利权人： 兰州城市学院
- 当前专利权人： 兰州城市学院
- 当前专利权人地址： 甘肃省兰州市安宁区街坊路11号
- 代理机构： 北京专赢专利代理有限公司
- 代理商 刘备
- 主分类号： C23C16/44
- IPC分类号： C23C16/44
摘要：
本发明公开了一种基于二维材料制备用衬底雾化喷涂系统及方法，涉及二维半导体材料制备技术领域，包括：溶液供给系统、雾化器、旋转台、抽气系统、进气系统和排气系统，可用于化学气相沉积法制备二维材料中，将配成的金属源溶液通过雾化喷涂在亲水性较差的衬底表面，实现二维材料制备所需衬底大面积均匀金属源前驱体的供给，在二维半导体材料工业化生产和规模化制备方面具有巨大的应用前景。
IPC分类:
