本发明提供了一种晶片吸附固定装置，包括底座、托盘，所述托盘设于底座上，底座上设有能够夹紧托盘的紧固组件；所述底座上设有负压接头和多个吸附阀门，每个吸附阀门的一端分别与负压接头连通；所述托盘的上表面设有晶片槽，托盘内设有吸附孔，晶片槽的底部与吸附孔连通；所述吸附孔的一端设有吸附接头，吸附接头能够通过管路连接所述吸附阀门的另一端。采用本发明，当吸附接头通过管路连接吸附阀门时，负压可通过吸附阀门吸附接头、吸附孔传递到晶片槽的底部，实现对晶片的吸附固定；托盘可设计多种不同规格并能替换，实现了兼容多种尺寸规格的晶片，降低了设备成本。