沉积过渡金属碳化物的方法和系统

发明公开

摘要：

本公开涉及通过循环沉积过程在衬底上沉积含过渡金属碳化物材料的方法和设备。该方法包括在反应室中提供衬底，将过渡金属前体以气相提供到反应室中；以及将第二前体以气相提供到反应室中，以在衬底上形成含过渡金属碳化物材料。第二前体包含环二烯化合物，其包括包含准金属的取代基。

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IPC分类:

C	化学；冶金
C23	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）
C23C16/00	通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C14/00）
C23C16/22	.以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/30	..沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C16/32	...碳化物