一种半导体芯片封装装置及半导体芯片封装结构
摘要:
本发明涉及半导体芯片封装技术领域,特别是涉及半导体芯片封装装置及半导体芯片封装结构,半导体芯片封装装置包括架体、夹持机构、注胶机构和回胶机构,架体上设有离心盘和驱动机构;夹持机构设置在离心盘的边缘,半导体芯片封装结构内具有容胶腔,芯片本体具有与容胶腔连通的进胶口和溢胶口;注胶机构设置在离心盘上,且注胶机构的注胶口与进胶口连通;回胶机构设置在离心盘上,且回胶机构的回胶口与溢胶口连通;注胶机构向容胶腔内注胶时,驱动机构驱动离心盘转动,从而使得半导体芯片封装结构受到离心力作用,能够充分排出塑封胶层内气泡,减小了芯片本体因塑封胶层的热膨胀产生的应力、避免芯片本体与塑封胶层界面间产生裂纹。
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