一种大电流瞬态抑制组合器件及其成型方法
摘要:
一种大电流瞬态抑制组合器件及其成型方法,涉及半导体器件领域,器件包括:顶面设有N‑外延层的P++半导体衬底;多个第一P++隔离阱;D1二极管;多个互相串联的D3二极管;D2二极管和/或D4二极管;方法包括步骤:准备P++半导体衬底;在P++半导体衬底表面形成N‑外延层后进行下一步,或在P++半导体衬底表面形成N‑外延层后,在N‑外延层注入N型离子形成N++埋层,再在两个第一P++隔离阱之间注入N型离子形成多个N++阱,然后再进行下一步;对N‑外延层注入P型离子形成第一P++隔离阱;在第一P++隔离阱之间注入N型离子形成多个N+区;在部分第一P++隔离阱之间注入P型离子形成多个P+区;用导线连接各部件。实现正向导通开启电压的叠加,更易控制钳位电压。
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