本发明公开了基于自差分电极的微惯性敏感结构及制备方法，包括锚点，以及与锚点弹性连接的质量块；质量块为两个以上，各质量块之间为弹性连接；质量块之间还连接有差分电极，各质量块之间的弹性连接方式为通过耦合刚度件连接；锚点与质量块之间的弹性连接方式为通过支撑刚度件连接。本发明通过将质量块以弹性连接的方式固定在锚点上，质量块、耦合刚度件与支撑刚度件共同形成可活动的谐振结构，然后将差分电极的两极固定在可活动的谐振结构上，从而使MEMS传感器在外界振动等复杂环境下，实现电极在振动环境下的自差分，有效改善MEMS传感器在实际应用环境下的噪声性能、输出精度及鲁棒性。