本发明提供一种具有安全保护的薄膜半导体电路制冷系统，属于半导体电路技术领域，包括：数据采集模块：获取薄膜半导体电路的若干个关键位置，在每个关键位置部署相应的的传感器进行实时数据采集；偏离获取模块：基于传感器采集的实时数据确定薄膜半导体电路的参数，设定各参数的安全范围，确定各参数的偏离度以及总偏离度；曲线绘制模块：绘制各参数的偏离度曲线及总偏离度曲线，分析各参数的偏离度曲线及总偏离度曲线；规则匹配模块：将分析结果与预设安全保护规则库中的保护规则进行匹配，确定系统的安全关联信息；规则执行模块：根据系统的安全关联信息，确定需要执行的保护措施。提升了对薄膜半导体电路制冷系统的安全保护。