物料搬运小车的振动预测方法与装置
摘要:
本申请提供一种物料搬运小车的振动预测方法与装置,所述方法包括:获取目标物料搬运小车的实时工作状态信息,并基于目标物料搬运小车的实时工作状态信息、历史任务信息及自动物料传输系统的使用状态信息确定所述目标物料搬运小车对应的振动关联变量集合;将所述目标物料搬运小车对应的振动关联变量集合输入训练好的振动预测模型,输出所述目标物料搬运小车对应的振动预测结果;所述振动预测结果包括振动频率和振动幅度;其中,所述振动预测模型是基于多个发生晶圆振动损伤故障的物料搬运小车对应的振动关联变量集合以及预先确定的振动预测结果标签进行训练后得到的,能够最大限度避免物料搬运小车异常振动造成的晶圆损坏问题。
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