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公开(公告)号：CN118495358B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202410962439.6
申请日：2024-07-18
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： B66C13/22 , B66C13/16 , B66C13/46 , G06Q10/0835 , G06Q10/047
摘要： 本发明提供一种天车漫游控制方法、装置、电子设备和存储介质，基于当前天车系统中的工作站点，确定若干个漫游中心；随后基于当前天车系统的轨道地图，确定各个漫游中心对应的候选环路；针对任一漫游中心，确定空闲天车在该漫游中心对应的各个候选环路上的绕行时长以及确定该漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值，从而基于空闲天车在该漫游中心对应的各个候选环路上的绕行时长以及该漫游中心对应的各个候选环路的影响力分值，确定该漫游中心对应的各个候选环路的综合评分，选择综合评分最低的候选环路作为该漫游中心的漫游环路进行漫游，可以在适应不断变化的任务需求的同时避免漫游过程对处于工作状态的天车产生干扰、降低天车的搬运效率。
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公开(公告)号：CN118405606B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410874703.0
申请日：2024-07-02
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
摘要： 本发明提供一种天车的运行控制方法及装置，属于半导体搬运设备技术领域，本发明的天车的运行控制方法，通过输入起始节点、终止节点和轨道交汇处对应的状态信息，利用目标路径规划模型得到对各交汇节点的节点决策动作信息以及目标交汇节点，考虑到了执行额外任务的天车可能与按照规划路径行驶的天车在交汇处产生路径冲突的问题，实现对目标天车路径的精确规划，考虑到了轨道网络中各种条件的影响，提高了路径规划的精度和准确性，通过以历史状态信息为样本、历史节点决策动作信息为标签进行强化训练，得到过渡路径规划模型，可以更好地利用过去的经验，在面对额外任务时，天车可以应对天车轨道网络中的真实情况。
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公开(公告)号：CN118585773A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202411053381.X
申请日：2024-08-02
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： G06F18/20 , G06F18/214 , G06Q10/20
摘要： 本申请提供一种物料搬运小车的振动预测方法与装置，所述方法包括：获取目标物料搬运小车的实时工作状态信息，并基于目标物料搬运小车的实时工作状态信息、历史任务信息及自动物料传输系统的使用状态信息确定所述目标物料搬运小车对应的振动关联变量集合；将所述目标物料搬运小车对应的振动关联变量集合输入训练好的振动预测模型，输出所述目标物料搬运小车对应的振动预测结果；所述振动预测结果包括振动频率和振动幅度；其中，所述振动预测模型是基于多个发生晶圆振动损伤故障的物料搬运小车对应的振动关联变量集合以及预先确定的振动预测结果标签进行训练后得到的，能够最大限度避免物料搬运小车异常振动造成的晶圆损坏问题。
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公开(公告)号：CN118324024A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410764687.X
申请日：2024-06-14
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
摘要： 本申请提供一种天车轨道监测系统及监测方法，包括天车轨道、天车、站点、辅助轨道、监测装置和上位机，所述辅助轨道用于停放集成多种检测单元的独立监测装置，所述站点用于将天车上升到天车轨道，以便连接所述监测装置。本申请通过监测装置与天车进行连接或者脱离，跟随所连接的天车对轨道及环境进行监测，解决了现有技术中在天车上集成检测单元数量有限、成本较高的技术问题，从而提高检测单元集成度、降低系统成本。此外，该监测装置在不同的天车之间连接转换，解决了部分天车在运行过程中不能覆盖所有区域轨道，无法采集整个系统轨道数据的技术问题，实现了对整个系统轨道及环境数据的采集。
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公开(公告)号：CN118315325A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410742662.X
申请日：2024-06-11
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/66
摘要： 本申请提供一种晶圆吸附控制方法与系统，对晶圆整体翘曲度的绝对值大于预设阈值的晶圆，依据实时获取的晶圆整体翘曲度，采用吸附模块以不同的按压速度和按压力按压翘曲晶圆，使晶圆整体翘曲度的绝对值小于或等于预设阈值后，依据晶圆的边缘区域翘曲度以不同的吸附力分区吸附晶圆，从而将晶圆吸起。通过该晶圆吸附系统与方法，实现了不同翘曲度晶圆的吸附，从晶圆正面吸取翘曲度较大的晶圆时，避免吸附力过大造成晶圆损伤，吸附力过小导致晶圆脱落，以确保晶圆的安稳搬运。此外，通过控制按压翘曲晶圆的按压速度和按压力，避免晶圆翘曲度较大时按压速度过大导致晶圆破裂的同时，提高了工作效率。
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公开(公告)号：CN118083808A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410489193.5
申请日：2024-04-23
申请人： 华芯智上半导体设备(上海)有限公司 , 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
摘要： 本发明提供一种面向天车系统的动态路径规划方法和装置，通过基于样本轨道环境信息、样本天车的天车状态以及任意两个样本节点间的样本最短行驶时间，对多层卷积神经网络进行训练后得到优化启发式网络，将优化启发式网络作为启发式函数集成到A‑Star算法中，以在初始状态下，基于天车系统的轨道地图和优化启发式网络，为当前天车进行路径规划；在行进过程中，若当前最优路径中任一未走路径点的轨道状态发生变化，则基于优化启发式网络和轨道子图，对当前最优路径进行更新，利用预先训练的优化启发式网络对A‑Star算法进行搜索指导，综合空间环境信息和天车的运动约束进行路径代价预测，提升搜索准确性，提高了天车系统路径规划的精度。
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公开(公告)号：CN117744909A
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN202410182137.7
申请日：2024-02-19
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： G06Q10/047 , G06Q10/0631 , G06Q50/04 , G06N3/006
摘要： 本发明提供一种天车的漫游控制方法及装置，属于半导体搬运技术领域，本发明的天车的漫游控制方法，通过考虑各轨道段上的搬运任务和不同状态的天车的实时分布情况，不断更新信息素浓度，进而结合蚁群算法来确定目标天车对应蚂蚁的转移概率，来根据实际情况快速做出调整，可以使得天车在漫游过程中更加智能地选择不同环形轨道上的搬运任务和路径，可以使目标天车具有较强的动态调度能力和适应性，进而预测出准确的目标天车漫游的目标环形轨道和目标预测路径，提高了天车系统的利用率和作业效率。
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公开(公告)号：CN117654950A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311660164.2
申请日：2023-12-06
申请人： 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
摘要： 本发明涉及半导体设备技术领域，提供了一种应用于AMHS系统的清洁机器人、及控制方法，本设计的清扫机器人的清扫组件包括第一维护部、第二维护部和采集部，所述第一维护部位于所述载体两侧，用于对轨道上大颗粒杂质进行收拢，所述第一维护部通过角度调节组件可活动设置于所述载体底部区域。实现了通过自动机器人运行在AMHS系统的导轨上对轨道进行清洁维护，同时自身能够根据用户指令选择不同的清洁模式；在第二维护部的后侧设置真空刮除组件对第二维护部的辊擦表面进行处理，避免杂质长期附着在辊擦上而降低擦拭效果。解决了常规适用于地面轨道清洁的设备在AMHS上会受到限制而无法有效的对轨道进行清洁，而还主要依赖于人工作业的问题。
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公开(公告)号：CN117606822A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202410096074.3
申请日：2024-01-24
申请人： 华芯(武汉)智能装备有限公司 , 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
摘要： 本发明提供一种搬运设备测试系统及方法，涉及搬运设备测试技术领域，搬运设备测试系统包括测试模块；测试模块包括道路模拟单元，道路模拟单元包括惯性轮组件、行进轮踏面轮片和制动组件；惯性轮组件包括主轴和惯性轮，惯性轮套设在主轴上；行进轮踏面轮片套设在主轴上，且行进轮踏面轮片设置在惯性轮的两侧；制动组件设置在主轴的一端，制动组件能够对惯性轮组件进行制动减速。行进轮踏面轮片和惯性轮组件配合模拟搬运设备的实际运行轨道，能够对搬运设备的待测试行走单元进行动力性能的相关测试，并且，制动组件与惯性轮组件能够配合实时连续地调节阻力，能够模拟不同工况下的运行环境。无需专门架设测试轨道即可实现测试，能够降低测试成本。
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公开(公告)号：CN116344423A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310611793.X
申请日：2023-05-29
申请人： 上海新创达半导体设备技术有限公司 , 华芯(嘉兴)智能装备有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本申请的实施例公开了一种基于无线供电的物料搬运天车及其控制方法。物料搬运天车架设在两条轨道上行走，每条轨道均设有一条沿轨道延伸的利兹线。物料搬运天车包括取电器以及驱动件。取电器的一侧具有取电开口，取电器通过取电开口卡设于利兹线外，并与利兹线配合进行非接触式取电。物料搬运天车中的取电器在移动到利兹线中断处之前，通过驱动件驱动取电器旋转，以调节取电开口的朝向，进而使得取电器通过取电开口选择两条利兹线中的一者进行配合取电。由此，缩短了取电器取电中断的时间，降低了取电器的功率要求。
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