本发明涉及VCSEL技术领域，尤其涉及一种光束调控式垂直腔面发射激光器及其制备方法，光束调控式垂直腔面发射激光器包括衬底，在衬底的下表面制备有N面电极，在衬底的上表面制备有外延结构，在外延结构的上表面制备有P面电极，在外延结构与P面电极的上表面制备有用于将光束整形为线光源的光束调控层，光束调控层为条状凹型曲面结构。本发明在出光口的上表面生长用于对光束进行整形的光束调控层，可以实现线光源的集成化，具有体积小、集成度高、制作简单的特点。