发明公开
- 专利标题: 一种半导体结构的制备方法及半导体器件的制备方法
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申请号: CN202410837054.7申请日: 2024-06-26
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公开(公告)号: CN118613054A公开(公告)日: 2024-09-06
- 发明人: 姜东勋
- 申请人: 成都高真科技有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市高新区科新路8号附19号
- 专利权人: 成都高真科技有限公司
- 当前专利权人: 成都高真科技有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市高新区科新路8号附19号
- 代理机构: 北京辰权知识产权代理有限公司
- 代理商 史晶晶
- 主分类号: H10B12/00
- IPC分类号: H10B12/00 ; H01L21/764 ; H01L21/28
摘要:
本发明涉及一种半导体结构的制备方法及半导体器件的制备方法,解决了存储器等器件寄生电容高的问题。一种半导体结构的制备方法,其包括:在衬底上形成多个栅极,栅极包括由下至上堆叠的多晶硅层和保护层;在栅极表面形成氮化硅膜,形成第一侧墙;填充旋涂硬掩膜,覆盖多个栅极;回刻旋涂硬掩膜,直至栅极外露至少部分高度;在第一侧墙的侧壁形成第二侧墙;再次回刻旋涂硬掩膜,直至第二侧墙与剩余的旋涂硬掩膜在垂直方向上齐平;形成第三侧墙,覆盖第二侧墙和剩余的旋涂硬掩膜;刻蚀去除剩余的旋涂硬掩膜,形成空气间隙;形成第四侧墙,包围空气间隙。