本发明公开了一种多波长激光复合清洗装置、系统及其方法，包括：壳体、第一光路机构、第二光路机构和光路复合机构；第一光路机构、第二光路机构和光路复合件均设置于壳体内，壳体能够通入和/或射出激光；第一光路机构、第二光路机构均设置于光路复合机构的上方，第一光路机构和第二光路机构均能够将射入的激光传播至光路复合机构上，光路复合机构能够将经第一光路机构和第二光路机构传播的激光射向待清洗物体。该多波长激光复合清洗装置中通过光路复合机构的设置使得两束激光均能够同步射向待清洗物体的同一处或不同处，实现对多束激光的同时利用，在激光清洗的过程中充分发挥了不同波长、不同类型的激光的优势，提高了清洗质量和清洗效率。