本发明公开了一种半导体气柜泄漏检测装置，涉及气柜检测技术领域，包括特气柜，所述特气柜的底部开设有安装槽。通过电机、驱动齿轮相配合为调节机构提供驱动力，接收到驱动力的调节机构起到调节特气柜输气管路内径的作用，当管路内部发生收窄后，这种结构使得泄漏的特种气体从较大的空间进入较小的空间时，流速加快、气压减小并发生聚集，从而放大了泄漏的特征，方便了被气压传感器、气体传感器和气流传感器进行捕捉并通过信号处理器将得到的电信号发送给特气柜后启动爆闪灯和蜂鸣器发出声光警报，以提醒工作人员及时处理，避免发生安全隐患，整个系统结构简单，实用性高，能够有效地监测和响应特种气体的泄漏情况。