一种GaN单晶生长装置及方法
摘要:
本发明公开一种GaN单晶生长装置及其方法,包括:籽晶;加热组件;反应釜,所述加热组件设置于反应釜外侧,反应釜用于容纳反应原料和籽晶;升降机构,升降机构包括固定部、升降部和悬挂部,固定部设置于反应釜的外部,悬挂部设置于反应釜的内部,升降部的一端连接于所述固定部,升降部的另一端穿过反应釜的上端连接于悬挂部,籽晶设置于悬挂部;旋转机构,反应釜固定于旋转机构上。本发明通过反应釜的旋转实现籽晶的提升与下降,实现当N离子浓度较高时,籽晶浸入熔体,当N离子浓度较低时,籽晶与熔体分离,可以间断性控制GaN单晶的生长,保证了籽晶一直处于N离子的高浓度环境中,提高了GaN单晶的生长质量。
0/0