发明公开
- 专利标题: 一种GaN单晶生长装置及方法
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申请号: CN202410715034.2申请日: 2024-06-04
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公开(公告)号: CN118668282A公开(公告)日: 2024-09-20
- 发明人: 张敏 , 姜永京 , 刘强 , 刘南柳 , 陈垦宇 , 肖继宗 , 谢胜杰 , 王琦
- 申请人: 北京大学东莞光电研究院
- 申请人地址: 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区沁园路17号
- 专利权人: 北京大学东莞光电研究院
- 当前专利权人: 北京大学东莞光电研究院
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区沁园路17号
- 代理机构: 东莞恒成知识产权代理事务所
- 代理商 姚伟旗
- 主分类号: C30B9/12
- IPC分类号: C30B9/12 ; C30B29/40
摘要:
本发明公开一种GaN单晶生长装置及其方法,包括:籽晶;加热组件;反应釜,所述加热组件设置于反应釜外侧,反应釜用于容纳反应原料和籽晶;升降机构,升降机构包括固定部、升降部和悬挂部,固定部设置于反应釜的外部,悬挂部设置于反应釜的内部,升降部的一端连接于所述固定部,升降部的另一端穿过反应釜的上端连接于悬挂部,籽晶设置于悬挂部;旋转机构,反应釜固定于旋转机构上。本发明通过反应釜的旋转实现籽晶的提升与下降,实现当N离子浓度较高时,籽晶浸入熔体,当N离子浓度较低时,籽晶与熔体分离,可以间断性控制GaN单晶的生长,保证了籽晶一直处于N离子的高浓度环境中,提高了GaN单晶的生长质量。
IPC分类: