一种高钪含量铝钪合金靶材的绑定方法
摘要:
本发明提供了一种高钪含量铝钪合金靶材的绑定方法。所述方法是指在高钪含量(Sc含量≥20 at%)铝钪合金靶材的焊接面先镀覆一层纯镍薄膜,然后将镀镍的铝钪合金靶材和背板加热到200~250℃,再放置In‑Ga‑Sn‑Bi‑Al合金钎料,将其刮涂均匀后使用超声波浸润钎料,以增强钎料和靶材的润湿性,最后将靶材和背板扣合在一块,同时在靶材组件表面持续施加压力,直至冷却到室温,最终获得焊接结合率≥95%,焊接结合强度≥12 MPa的高钪含量铝钪合金靶材组件。
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