一种提升p-n结深度批间均匀性的方法及应用
Abstract:
本发明涉及TOPCon电池制备技术领域,公开了一种提升p‑n结深度批间均匀性的方法。本发明对硼扩散工艺进行优化。首先,本发明通过在硼扩散炉的进气口、出气口设置于炉的两端,作为硼扩散气体均匀穿过所有硅片的前提;然后通过设置弥散板在靠近进气口的舟托的进气端,并使得在进气时,直接向弥散板脉冲气体,使气体能弥散于扩散炉内,使得气体能均匀穿过所有硅片;并在靠近出气口的舟托的出气端设置平衡板,用于防止抽气时会在炉内产生涡流,保证口部抽速与尾部接近,从而提高硼扩散的均匀性。
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