Invention Publication
- Patent Title: 一种提升p-n结深度批间均匀性的方法及应用
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Application No.: CN202410815155.4Application Date: 2024-06-24
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Publication No.: CN118712268APublication Date: 2024-09-27
- Inventor: 李丙科 , 沈子阳 , 张振坤 , 李宏斌 , 陈庆敏
- Applicant: 无锡松煜科技有限公司
- Applicant Address: 江苏省无锡市新吴区环普路9号11号厂房
- Assignee: 无锡松煜科技有限公司
- Current Assignee: 无锡松煜科技有限公司
- Current Assignee Address: 江苏省无锡市新吴区环普路9号11号厂房
- Agency: 浙江金杜智源知识产权代理有限公司
- Agent 葛天祥
- Main IPC: H01L31/18
- IPC: H01L31/18 ; H01L31/0288 ; H01L31/0693

Abstract:
本发明涉及TOPCon电池制备技术领域,公开了一种提升p‑n结深度批间均匀性的方法。本发明对硼扩散工艺进行优化。首先,本发明通过在硼扩散炉的进气口、出气口设置于炉的两端,作为硼扩散气体均匀穿过所有硅片的前提;然后通过设置弥散板在靠近进气口的舟托的进气端,并使得在进气时,直接向弥散板脉冲气体,使气体能弥散于扩散炉内,使得气体能均匀穿过所有硅片;并在靠近出气口的舟托的出气端设置平衡板,用于防止抽气时会在炉内产生涡流,保证口部抽速与尾部接近,从而提高硼扩散的均匀性。
Public/Granted literature
- CN118712268B 一种提升p-n结深度批间均匀性的方法及应用 Public/Granted day:2025-02-21
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