本申请提供了一种开关器件及其制备方法、电子设备，涉及开关器件技术领域。开关器件包括相对设置的第一基板和第二基板，以及位于所述第一基板和所述第二基板之间的导电臂、接触极以及驱动极；所述导电臂包括固定部和连接部，所述固定部锚固在所述第一基板，所述连接部悬空；所述驱动极连接在所述第二基板，所述驱动极和所述连接部在所述第二基板的正投影至少部分重叠，且沿垂直于所述第二基板的方向，所述驱动极和所述连接部间隔设置；所述开关器件包括开态和关态，所述开关器件为关态时所述连接部与所述接触极间隔设置，所述开关器件为开态时所述连接部在所述驱动极的驱动下朝向所述接触极弯曲并与所述接触极接触。