本发明涉及一种基于微型压电传感器的薄膜参数监测方法，其包括如下步骤：1），提供需要制备薄膜的厚度与模量目标值；2），开始制膜，制膜过程中，数据处理单元通过基于微型压电传感器的薄膜参数提取方法，实时监测薄膜的厚度与模量预估值；显示单元将预估值显示；3），将步骤2）监测的薄膜厚度与模量的预估值，和步骤1）的目标值比较，控制单元根据比较关系判断完成制膜的时间节点，从而控制镀膜反应炉停止制膜。本发明的基于微型压电传感器的薄膜参数监测方法可以有效提高薄膜厚度与模量的监测精度，有效评估薄膜沉积质量，对高性能高质量沉积薄膜的制备具有重要意义。