一种基于定位组件的半导体加工平台
摘要:
本发明涉及半导体生产机床领域,提供了一种基于定位组件的半导体加工平台,包括机床体、支脚、板状架、磨边组件、活动式定位组件和碎屑回收组件,支脚固接于机床体底壁,板状架固接于机床体顶壁;磨边组件包括电动机、联动轴以及磨边轮,电动机固接于机床体顶壁,联动轴固接于电动机转子上,磨边轮固接于联动轴上,磨边轮上开设有磨边槽;活动式定位组件包括导向柱、压板、旋柱、齿轮一、缓冲压头、从动座、支撑柱、凸起座以及弹力件三。碎屑回收组件包括联动轮三、齿轮二、连接座二、传动带二、联动轮四、风叶二以及碎屑回收箱。本发明可使固定好的晶圆本体自动进入磨边槽内进行磨边操作、自动使碎屑落入碎屑回收箱内进行收集以防止碎屑飞扬。
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