发明公开
- 专利标题: 一种基于定位组件的半导体加工平台
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申请号: CN202411237076.6申请日: 2024-09-05
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公开(公告)号: CN118752343A公开(公告)日: 2024-10-11
- 发明人: 吕忠利 , 张晏龙 , 蔡连欣 , 苏楠
- 申请人: 山东创瑞激光科技有限公司
- 申请人地址: 山东省烟台市开发区长江路300号
- 专利权人: 山东创瑞激光科技有限公司
- 当前专利权人: 山东创瑞激光科技有限公司
- 当前专利权人地址: 山东省烟台市开发区长江路300号
- 代理机构: 广州高航知识产权代理有限公司
- 代理商 赵永强
- 主分类号: B24B9/06
- IPC分类号: B24B9/06 ; B24B41/00 ; B24B55/12 ; B24B41/06 ; B24B55/06 ; B24B47/12
摘要:
本发明涉及半导体生产机床领域,提供了一种基于定位组件的半导体加工平台,包括机床体、支脚、板状架、磨边组件、活动式定位组件和碎屑回收组件,支脚固接于机床体底壁,板状架固接于机床体顶壁;磨边组件包括电动机、联动轴以及磨边轮,电动机固接于机床体顶壁,联动轴固接于电动机转子上,磨边轮固接于联动轴上,磨边轮上开设有磨边槽;活动式定位组件包括导向柱、压板、旋柱、齿轮一、缓冲压头、从动座、支撑柱、凸起座以及弹力件三。碎屑回收组件包括联动轮三、齿轮二、连接座二、传动带二、联动轮四、风叶二以及碎屑回收箱。本发明可使固定好的晶圆本体自动进入磨边槽内进行磨边操作、自动使碎屑落入碎屑回收箱内进行收集以防止碎屑飞扬。