发明公开
- 专利标题： 静电吸盘、沉积设备和使用沉积设备制造的显示面板
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申请号： CN202410414981.8申请日： 2024-04-08
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公开(公告)号： CN118792628A公开(公告)日： 2024-10-18
- 发明人: 俞硕范 , 李成用 , 金东贤 , 金明圭
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 代理机构： 北京钲霖知识产权代理有限公司
- 代理商 李英艳; 冯志云
- 优先权： 10-2023-0047423 20230411 KR
- 主分类号： C23C14/50
- IPC分类号： C23C14/50 ; H01L21/683 ; C23C14/22 ; C23C14/04
摘要：
提供静电吸盘、沉积设备和使用所述沉积设备制造的显示面板。根据一个方面，提供一种静电吸盘，所述静电吸盘包括：主体；和拉伸辅助装置，设置在所述主体的边界处，所述拉伸辅助装置包括设置在所述主体的一侧上的台阶部分，并且所述台阶部分的一端设置为高于所述主体的上表面。
IPC分类:
